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IBM釋出全球首個2nm晶片,背後技術全揭秘

2021-05-07由 半導體行業觀察 發表于 科技

在2014年將其IBM Microelectronics部門出售給GlobalFoundries(其本身是AMD的衍生產品)時,IBM就已經宣告退出晶片代工業務。毫無疑問,IBM此舉是希望可以擺脫對代工廠的投資,同時還可以幫助成就一個更強大的第三方代工廠,藍色巨人可以依靠它為其生產Power和z處理器。然而,具有諷刺意味的是,IBM的這筆交易能成功,是因為他們給GlobalFoundries 支付了15億美元。更諷刺的是,後者也有可能幫助IBM的CPU競爭對手。

儘管IBM退出了代工業務,但發生了兩個有趣的事情。

首先,該公司通常在紐約的工廠繼續與AMD,三星,GlobalFoundries以及有時與Intel一起對半導體基礎金屬進行研究。我們不確定,但我們認為IBM想從這項工作中獲得一些收益,近年來,他們也在7奈米,5奈米以及目前的2奈米工藝技術上做了一些研究。並推出了測試晶片。也許IBM認為,這項工作是保持其Power和z處理器不斷髮展的必要條件,但事實我們目前尚不清楚。

其次,GlobalFoundries於2018年8月終止了其7奈米極紫外(EUV)和常規浸沒式光刻技術的進一步研發,因此這讓IBM陷入了困境。為此他們選擇了與三星合作,後者擁有製造DRAM和快閃記憶體的大型工廠,他們同時也正尋求擴大為自身和他人CPU做代工的晶圓代工業務。7奈米技術的代工合作伙伴的水平,對於今年即將面世的Power10晶片至關重要。

據之前報道,Power10最初計劃使用IBM本身或GlobalFoundries的10奈米技術生產,但在此過程中發生了一些變化,他們在7nm翻車了。雖然三星已經對其進行了重建,但是Power路線圖的時間已經延長了——正如英特爾因其10奈米和7奈米工藝的延遲而迫使其在架構上做更多的工作,但在工藝縮減上做得比以前少得多。

毫無疑問,從現在開始展望未來五年,半導體業務將會很艱難,因為隨著摩爾定律的推進,縮小電晶體尺寸將變得越來越困難,並且預期的電晶體成本比例下降趨於平緩,近年來尤其困難。這就是為什麼IBM Research今天在其紐約奧爾巴尼技術中心宣佈其突破性的2nm技術的原因。

在藍色巨人看來,這項突破性技術是非常重要,因為其展示了採用2奈米CMOS工藝在標準300毫米矽晶圓上蝕刻真實晶片的過程。

無論IBM推出這個的目的是啥,讓我們感到高興的是,IBM正在進行這項研究,並盡其所能幫助保持工藝節點的到來。過去,IBM完成了很多研發工作,其中包括數十年前建立單cell DRAM,當時該公司仍在自己製造儲存晶片;他們還製造光刻膠並進行自己的3D晶片堆疊;IBM於1997年還發明瞭銅互連線,取代了半導體上傳統的鋁線,從根本上改善了效能並降低了電晶體的功耗;IBM還於2000年發明了矽絕緣子技術,並於2001年發明了低k電介質,所有這些技術都被帶入了2001年推出的Power4處理器,使其能與RISC和CISC的競爭對手相比。這些技術讓IBM的這個晶片成為了野獸。

由此可見,IBM深信,晶片製造技術使晶片架構得以飛躍。因此,也許顯而易見的是,為什麼藍色巨人希望加入併發揮自己的作用。它是開明的工作自私,可能會花費與其產生的金錢相同或更多的費用。

從3nm走向2nm

據報道,目前擔任IBM混合雲研究副總裁的Mukesh Khare帶領其完成了2奈米技術的突破。(如果Khare真正從事半導體研究,那麼這個頭銜就顯得很愚蠢)。資料顯示,Khare在1999年到2003年間,從事90奈米SOI工藝的開發,該工藝將Power4和Power4 +推向市場,他隨後又負責了65奈米和45奈米SOI的推進,這些技術被Power5和Power6採用;之後他對對用於Power7的32奈米技術進行了研究,然後研究了在Power8上使用的22奈米工藝中使用的高k /金屬柵極技術。然後Khare繼續擔任奧爾巴尼奈米技術中心的半導體研究總監,

如下圖所示,這是IBM掌握的2奈米晶片製造技術的要點。裡面有很多東西,所以讓我們把它拆開一點。

IBM釋出全球首個2nm晶片,背後技術全揭秘

首先,在這個晶片上,IBM用上了一個被稱為奈米片堆疊的電晶體,它將NMOS電晶體堆疊在PMOS電晶體的頂部,而不是讓它們並排放置以獲取電壓訊號並將位從1翻轉為零或從0翻轉為1。這些電晶體有時也稱為gate all around或GAA電晶體,這是當前在各大晶圓廠被廣泛採用的3D電晶體技術FinFET的接班人。從以往的介紹我們可以看到,FinFET電晶體將電晶體的源極和漏極通道拉入柵極,而奈米片將多個源極和漏極通道嵌入單個柵極以提高密度。

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IBM表示,其採用2奈米工藝製造的測試晶片可以在一塊指甲大小的晶片中容納500億個電晶體。

在IBM的這個實現方案下,奈米片有三層,每片的寬度為40奈米,高度為5奈米。(注意,這裡沒有測量的特徵實際上是在2奈米處。因為這些術語在很大程度上是描述性的,而不是字面意義的,這令人髮指。可以將其視為如果柵極仍為平面則必須具有的柵極尺寸,但卻不是平面的,我想可能是這樣。)如果您在上表的右側看,那是一張奈米片的側檢視,顯示出它的側檢視,其間距為44奈米,柵極長度為12奈米,Khare認為這是其他大多數晶圓代工廠在2奈米工藝所使用的尺寸。

2奈米晶片的製造還包括首次使用所謂的底部電介質隔離(bottom dielectric isolation),它可以減少電流洩漏,因此有助於減少晶片上的功耗。在上圖中,那是淺灰色的條,位於中部橫截面中的三個堆疊的電晶體板的下面。

IBM為2奈米工藝建立的另一項新技術稱為內部空間乾燥工藝(inner space dry process),從表面上看,這聽起來不舒服,但實際上這個技術使IBM能夠進行精確的門控制。

在實施過程中,IBM還廣泛地使用EUV技術,幷包括在晶片過程的前端進行EUV圖案化,而不僅是在中間和後端,後者目前已被廣泛應用於7奈米工藝。重要的是,IBM這個晶片上的所有關鍵功能都將使用EUV光刻技術進行蝕刻,IBM也已經弄清楚瞭如何使用單次曝光EUV來減少用於蝕刻晶片的光學掩模的數量。

這樣的改善帶來的最終結果是,製造2奈米晶片所需的步驟要比7奈米晶片少得多,這將促進整個晶圓廠的發展,並可能也降低某些成品晶圓的成本。這是我們能看到的。

最後,2奈米電晶體的閾值電壓(上表中的Vt)可以根據需要增大和減小,例如,用於手持裝置的電壓較低,而用於百億超級計算機的CPU的電壓較高。

IBM並未透露這種2奈米技術是否會採用矽鍺通道,但是顯然有可能。

與當前將使用在Power10晶片的7納米制程相比,這種2納米制程有望將速度提高45%或以相同速度執行,將功耗降低75%。

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現在,我們知道您在想什麼。首先,Power11晶片會使用這種2奈米工藝嗎?其次,這之後到底會發生什麼?1奈米工藝似乎幾乎是不可能的,不是嗎?

讓我們再談一遍Power路線圖。Power10為7奈米,並且考慮到Power和z伺服器業務的保守性和遺留的特性(正在對處理器進行三年更新),已經在設計中的Power11和正在白板中的Power12在有5奈米和3奈米節點可以使用時,似乎並沒有必要先衝到2奈米。Khare也預計將在2024年底準備生產。Power11應該在2023年左右的某個時候出現,並且應該採用成熟的5奈米工藝,這意味著它將相對便宜。(比起採用4奈米,3奈米或2奈米工藝更便宜,這是相對的部分。)

Khare說:“我認為沒有一堵牆是我們無法突破的,我會說還有更多的突破正在醞釀之中,隨著技術的成熟,我們將分享越來越多的突破。”這是一個不錯的措辭。“我沒有看到一堵牆,我看到了很多機會和很多可以創新的東西,我們可以不斷創新。”他補充說。

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